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基本的真空镀膜常识

发布日期:2012/11/2

1.真空:用真空泵抽掉容器中的气体,使空间内低于一个大气压的气体状态,也就是该空间的气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。

2.真空中残存气体的稀薄程度,就是真空程度的高低,即真空度。通常用压力表示单位(Pa)

3.1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。1大气压=1.03×105Pa 

4.压升率:单位时间内,真空度降低的速率。单位:Pa/h 

5.真空泵的抽气简称抽速)(单位:L/S) :当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。

6.极限真空度:(单位:Pa):在规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向平稳的最低压强